Abstrak
Sistem nano-opto-elektromekanis (NOEMS) adalah kelas baru sistem hibrida berskala nano atau bahkan setingkat atom yang menggabungkan dan memanipulasi derajat kebebasan optik, listrik, dan mekanik baik dalam domain klasik maupun kuantum. Baru-baru ini, heterostruktur van der Waals (vdWH) telah diteliti sebagai platform yang menjanjikan untuk konstruksi NOEMS karena kemampuan uniknya untuk menggabungkan berbagai material 2D yang mencirikan skala atom, massa efektif rendah, dan sifat optoelektrik dan mekanik yang luar biasa. Fleksibilitas yang tak tertandingi dalam pemilihan material 2D dan urutan penumpukan vdWH membuka jalan baru untuk pembuatan perangkat multifungsi dengan sifat yang dapat disesuaikan, membuka jalan bagi teknologi canggih dalam nanoresonator, sensor, nano-optoelektronik, dan seterusnya. Dalam tinjauan ini, karakteristik vdWH yang diterapkan pada NOEM, teknik fabrikasi, metode eksitasi dan deteksi, serta aplikasi representatif dari NOEM berbasis vdWH dirangkum, kemudian diakhiri dengan diskusi tentang peluang dan tantangan masa depan untuk NOEM berbasis vdWH, yang bertujuan untuk mempercepat pengembangan dan penerapan NOEM berkualitas tinggi.